LLO装置は高度な光学原理とレーザーピーリング技術を応用しており、異なるユーザーに対して十分にエキシマ、DPSSの2種類のレーザーソリューションにより、多種の製品の応用シーンに対応し、高効率でレーザー選択ピーリングを実現でき、しかもピーリング後の歩留まりが極めて高い。

1. 全自動ロードとアンロードをサポートし、作業効率を向上させる。
2.高い量産効率、高い稼働率。
3.異なるレーザーソリューションをサポート。
4.4、6、8インチウェーハに対応。